石英坩堝尺寸大小(或容積大小)的確定取決于晶體生長的直徑和長度，同時還要考慮拉晶工藝中對堝、晶直徑比的要求。一般竭、晶直徑比以3:1為佳。其理由是它與熔液直接接觸，熔硅與石英坩堝的sio:反應生成sio后，它同時向熔體內部擴散和向熔體表面揮發，最后有一部分到達固一液界面附近，混入到正在生長的晶體中去，從而使單晶體中的氧含量增高。采取較大的渦、晶直徑比，將有利于氧的大量揮發。因此當拉制直徑為8 0mrn、長度為7. 000mm硅單晶時，我們確定增渦的直徑為中224mm，高度為190mm。
氧化鋁坩堝廠家根據石英的機械性質川：抗壓強度為8004一8500 (WC kg/cm2)，抗拆強度為710一1040(200C kg/cm')，抗彎強度為700一1100 (200C kg/cml)，抗扭強度為304一600 (20cc kg/cml)，為此，我們選擇柑im的厚度為4mm，這樣就能承受住12Kg以上的Si料。同時為了使單晶生長到達底部時，仍能保持其原有的竭、晶直徑比(3:I)和盡量減少坩堝中剩料，以提高單晶的成品率和回收率，為此確定使用平底柑塌。其外形尺寸和形狀如圖I所示。若采用球底琳A，則在保證竭、晶直徑比(3:1)的情況下，其竭內剩料將超過平底琳禍的剩料，顯然，不利于提高單晶的成品率和回收率。
以上就是確定石英坩堝尺寸和形狀的方法，下面就讓我們一起來了解一下吧。
